大家知道影響層流罩的幾個(gè)因素嗎?
信息來(lái)源:http://www.exclusivoestemes-ib.com/ 發(fā)布時(shí)間:2013/12/13 9:12:56 點(diǎn)擊數:
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過(guò)濾器產(chǎn)品
層流罩是由空調箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內之空氣空氣過(guò)濾器進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風(fēng),氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不劃定禮貌之亂流或渦流狀況,此型式合用于潔凈室等級1,000-100,000級。
層流罩的優(yōu)點(diǎn)是什么呢?主要是其結構簡(jiǎn)單、系統建造成本,潔凈室之擴展比較輕易,在某些非凡用處場(chǎng)合,可并用無(wú)塵工作臺,提高潔凈室等級。而且層流罩分為兩種形式,分別是:層流式、復合式。
[一]層流式:
層流式空氣氣流運動(dòng)成一平均之直線(xiàn)形,空氣由袒護率100%之空氣過(guò)濾器進(jìn)入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng),此型式合用于潔凈室等級需定較高之情況運用,通俗其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自空氣過(guò)濾器單傾向吹出,由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,通俗在輕賤側污染較嚴重,結構簡(jiǎn)單,運轉后短時(shí)候內即可變成穩定。
(2)垂直層流式:房間天花板完整以ULPA空氣過(guò)濾器袒護,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所發(fā)生的塵?煽焖倥懦鍪彝舛粫(huì )影響其它工作區域。治理輕易,運轉劈頭短時(shí)候內即可達穩定狀況,不易為功課狀況或功課人員所影響。
[二]復合式
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可供應部分超潔凈之空氣。
(1)潔凈地道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA空氣過(guò)濾器將制程區域或工作區域100%袒護使潔凈度等級提高至10級以上,可儉省裝置運轉費用。此型式需將功課人員之工作區與產(chǎn)品和機械維修予以隔離,以避免機械維修時(shí)影響了工作及質(zhì)量,ULSI制程大都采用此種型式。
(2)并裝部分潔凈室(CleanSpot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產(chǎn)品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,認為消費之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類(lèi)。
(3)潔凈管道(CleanTube):將產(chǎn)品流程經(jīng)由的主動(dòng)消費線(xiàn)圍困并凈化措置,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和功課員及發(fā)塵情況相互隔離,少量之送風(fēng)即可獲得優(yōu)越之潔凈度,可儉省能源,不需人工的主動(dòng)化消費線(xiàn)為適合運用。藥品、食物業(yè)界及半導體業(yè)界均合用。
潔凈工作棚:為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用自力之HEPA或ULPA及空調送風(fēng)機組而成為一較有經(jīng)驗的之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米閣下,袒護面積約10m2以下,四支支柱并加裝運動(dòng)輪,可為彈性運用。
一體化高效送風(fēng)口可棄式一體化高效送風(fēng)口是作為空調過(guò)濾系統的終端過(guò)濾設備,可棄式一體化高效送風(fēng)口以150鋁型材或冷軋鋼板表面噴塑處理作箱體,可棄式一體化高效送風(fēng)口內部集成密褶型無(wú)隔板高效濾芯, 出風(fēng)面加護網(wǎng),四周聚氨酯膠密封,可棄式一體化高效送風(fēng)口外加鍍鋅板或鋁板后蓋帶風(fēng)管連接法蘭而成,可棄式一體化高效送風(fēng)口箱體外圍可根據客戶(hù)需要加貼保溫棉?蓷壥揭惑w化高效送風(fēng)口它效率高、安裝方便,通風(fēng)量大。高效送風(fēng)口-無(wú)塵室專(zhuān)用凈化設備。
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