芯片廠(chǎng)專(zhuān)用空氣過(guò)濾器提高生產(chǎn)質(zhì)量
信息來(lái)源：http://www.exclusivoestemes-ib.com/ 發(fā)布時(shí)間：2013/11/22 9:51:50 點(diǎn)擊數：
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空氣過(guò)濾設備
當今，半導體芯片廠(chǎng)對生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈程度挑剔，對空氣過(guò)濾器的要求也苛刻，粘在芯片上的粉塵可能造成斷路、短路而直接影響成品率。
衡量芯片集成工的指標之一是“線(xiàn)寬”，即集成電路上導線(xiàn)的寬度。在線(xiàn)寬以微米計的年代，制造環(huán)境對粉塵粒徑的限制是小于線(xiàn)寬的1/10，隨著(zhù)線(xiàn)寬不斷變小，1/10之說(shuō)又變成1/4、1/2.2002年，普通微機中P4處理器的線(xiàn)寬縮小到了0.13μm,此時(shí)任何粉塵都可能損害電路，粒徑與線(xiàn)寬的傳統比較過(guò)時(shí)了
芯片廠(chǎng)傳統的通風(fēng)形式是“大循環(huán)”，車(chē)間的整個(gè)天花板上布滿(mǎn)無(wú)隔板高效過(guò)濾器，整個(gè)地面為回風(fēng)柵板�，F在芯片廠(chǎng)有些車(chē)間使用自帶風(fēng)機的高效過(guò)濾器裝置。大循環(huán)和FFU兩種形式都能達到足夠的潔凈度，只是在運行管理和能耗上有所差異。
能擠進(jìn)芯片廠(chǎng)的高效過(guò)濾器和FFU都要經(jīng)過(guò)逐臺掃描測試，芯片廠(chǎng)以為，傳統的檢驗方法用的試驗粉塵本身就是污染源，所以芯片廠(chǎng)不買(mǎi)鈉焰和DOP法的賬。
空氣中的海鹽粒子是所有電子工業(yè)的大敵，但海鹽粉塵的顆粒比較大，普通過(guò)濾器就能將其除去。有人說(shuō)電子工業(yè)的理想地點(diǎn)應該遠離海岸，可國內芯片廠(chǎng)就建在了經(jīng)濟發(fā)達的沿海地區，在空氣過(guò)濾器上多花點(diǎn)錢(qián)就是了。
芯片廠(chǎng)特別在意過(guò)濾器上可能的微量揮發(fā)元素。近幾年出現了聚四氟乙烯PTFE纖維高效過(guò)濾材料，這種材料沒(méi)有揮發(fā)物，但它帶靜電，過(guò)濾后的空氣要進(jìn)行電中和以控制空氣中的離子，少了個(gè)隱患，多了個(gè)麻煩。目前PTEF高效濾材的價(jià)格偏高，絕大部分高效過(guò)濾器仍使用傳統的玻纖濾紙。高效過(guò)濾器上可能的揮發(fā)物主要源于制造過(guò)程的粘結劑、清洗劑、試驗粉塵、輔助材料，為芯片廠(chǎng)供貨的空氣過(guò)濾器廠(chǎng)商要在避免微量揮發(fā)物上下些功夫。
但當芯片的線(xiàn)寬小到0.5μm時(shí)，人們發(fā)現空氣中的化學(xué)污染物成了影響成品率的主要危害，于是，后建的芯片廠(chǎng)空調系統中普遍配置了化學(xué)過(guò)濾器。芯片廠(chǎng)說(shuō)的化學(xué)過(guò)濾器就是活性炭過(guò)濾器，它的原理和制造工藝并不復雜。
化學(xué)污染物的來(lái)源有：室外空氣、工藝本身、人、裝修材料。多數情況下，設計師和現場(chǎng)人員也說(shuō)不清污染物的種類(lèi)和濃度，因此，芯片廠(chǎng)用的化學(xué)過(guò)濾器應具有兩個(gè)特點(diǎn)：廣譜吸附性能、足夠多的活性炭材料。所謂廣譜吸附就是對什么都能多少吸附些，能有這種功能的就是傳統的、便宜的，微孔尺寸大小不均的顆�；钚蕴�。如果能確定染污物種類(lèi)，就可對吸附材料進(jìn)行有針對性的化學(xué)處理，以增強對物定污染物的吸附能力。
過(guò)濾器供應商有時(shí)還要提供相應的現場(chǎng)檢測服務(wù)，以幫助用戶(hù)確定化學(xué)過(guò)濾器的使用情況，這就要求供應商中有搞化學(xué)過(guò)濾的有經(jīng)驗的人，并與權威實(shí)驗室的密切的關(guān)系。遺憾的是國內過(guò)濾器廠(chǎng)商沒(méi)有幾家在那上面下功夫，所以國內芯片廠(chǎng)目前使用的化學(xué)過(guò)濾器多數是進(jìn)口產(chǎn)品。
半導體工業(yè)并非“無(wú)煙工業(yè)”，它也有環(huán)境問(wèn)題。那里經(jīng)常采用的工藝和材料，有些化學(xué)物品在其安全性尚未得到評估前就已經(jīng)大量使用了。為降低環(huán)境風(fēng)險，有些芯片廠(chǎng)的排風(fēng)系統也裝有化學(xué)過(guò)濾器。由此可見(jiàn)，使用空氣過(guò)濾器是必要的，那么今天我們主要給大家講解了關(guān)于芯片廠(chǎng)不使用空氣過(guò)濾器的壞處以及使用空氣過(guò)濾器的好處，大家可以詳細了解下。