濾芯制造提高成品率和成功操作的關(guān)鍵因素
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濾芯設備
上海禾益凈化設備制造有限公司生產(chǎn)的濾芯采用0.1~0.2μm級的濾器過(guò)濾光敏抗蝕劑,目的是用以去除由裝運容器產(chǎn)生的雜質(zhì)和聚合物不穩定產(chǎn)生的膠體粒子。為什么要專(zhuān)門(mén)針對這些膠體粒子進(jìn)行處理呢?有經(jīng)驗的人表示這些膠體粒子在高壓下能通過(guò)多空過(guò)濾器,因而更難過(guò)濾。
光敏抗蝕劑在使用點(diǎn)過(guò)濾對于提高成品率至關(guān)重要。這種應用的理想過(guò)濾器應能去除大于其孔徑的粒子,且不增加污染物(粒子或可萃取物)。由于大多數光敏抗蝕劑溶液含有好的聚合物溶劑,因此全部采用氟聚合物結構的濾器為比較好。
由于上海禾益濾芯裝置生產(chǎn)期間晶片要用去除粒子水沖洗幾次,因而在生產(chǎn)過(guò)程中它要與100~100dm3去離子水相接觸。由于重復操作,去離子水的質(zhì)量對于半導體生產(chǎn)的成功操作也至關(guān)重要。
在上海禾益濾芯制造用水方面,微過(guò)濾設備是去離子水循環(huán)系統的主要組成設備,屬水處理中的三級處理。三級處理系統的目的是去除循環(huán)水中的各種污染物。微量離子由混合床去離子器去除。細菌是有紫外線(xiàn)消毒裝置控制,以及定期用消毒劑例如過(guò)氧化氫或臭氧進(jìn)行處理。對于離子水過(guò)濾設備的標準要求,是能去除進(jìn)空系統中存在的任何懸浮粒子,而且不能把懸浮的和溶解的污染物帶入已過(guò)濾的產(chǎn)品水中。
上海禾益凈化設備制造有限公司表示,為了確保濾芯的治療和工作時(shí)的效率,在生產(chǎn)中的時(shí)候需要注意的細節和知識有很多,需要所有的人用心的去揣摩并積極實(shí)踐。
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