air filter在微電子行業(yè)的重要性及應用

信息來(lái)源：http://www.exclusivoestemes-ib.com/ 發(fā)布時(shí)間：2013/9/30 10:33:59 點(diǎn)擊數： Tags: 過(guò)濾器

相信很多的電腦玩家都知道，電腦中每天都會(huì )進(jìn)無(wú)數灰塵，影響電腦的性能，有的甚至會(huì )堵塞散熱器，導致電腦的溫度長(cháng)時(shí)間不下降，所以現在很多人在想如果以后電腦中也裝上過(guò)濾除塵器就好了，專(zhuān)業(yè)人員表示粘在集成電路上的粉塵可能造成斷路、短路，粉塵直接影響壽力空壓機配件產(chǎn)品的成品率。當今，半導體工業(yè)(芯片廠(chǎng))對生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈程度高挑剔，對air filter的要求也苛刻。

衡量芯片集成度的指標之一是“線(xiàn)寬”，即電路上導線(xiàn)的寬度。air filter在微電子行業(yè)的重要性及應用,在以微米計算線(xiàn)寬的年代，人們說(shuō)制造環(huán)境對粉塵粒徑的限制是小于線(xiàn)寬的1/10，隨著(zhù)線(xiàn)寬不斷變小，1/10之說(shuō)又變成了1/4、1/2。2002年，普通微機中P4處理器的線(xiàn)寬縮小到了0.13mm，此時(shí)任何粉塵都可能損害電路，粒徑與線(xiàn)寬的傳統比較已經(jīng)過(guò)時(shí)了,air filter在微電子行業(yè)的重要性及應用。

芯片廠(chǎng)傳統的通風(fēng)形式是“大循環(huán)”，車(chē)間的整個(gè)天花板上布滿(mǎn)高效過(guò)濾器，整個(gè)地面為回風(fēng)柵板。air filter在微電子行業(yè)的重要性及應用,現在芯片廠(chǎng)有些車(chē)間使用自帶風(fēng)機的過(guò)濾裝置，即FFU。大循環(huán)和FFU兩種形式都能達到足夠的潔凈度，只是在運行管理和能耗上有所差異。

air filter在微電子行業(yè)的重要性及應用不論是普通高效過(guò)濾器還是FFU，出廠(chǎng)前都要經(jīng)過(guò)逐臺掃描測試。國內目前沒(méi)有掃描測試方法標準，能擠進(jìn)芯片廠(chǎng)的過(guò)濾器廠(chǎng)家是按歐美標準對過(guò)濾器進(jìn)行掃描測試的。芯片廠(chǎng)的人認為，過(guò)濾器傳統檢驗方法用的試驗粉塵本身就是污染源，所以芯片廠(chǎng)不買(mǎi)鈉焰法和DOP法的帳。

空氣中的海鹽粒子是所有電子工業(yè)的大敵，但空氣中海鹽粉塵的顆粒比較大，普通過(guò)濾器就能將其過(guò)濾掉。有人說(shuō)搞電子工業(yè)的理想地點(diǎn)應該遠離海岸，可沿海地區經(jīng)濟發(fā)達，芯片廠(chǎng)一窩蜂似的就建在了沿海地區，在過(guò)濾器上多花點(diǎn)錢(qián)就是了。

看完以上的信息，大家對于air filter在微電子的重要性及應用都了解吧，值得一提的是在現在大部分過(guò)濾器仍使用玻璃纖維濾紙。過(guò)濾器上可能的微量揮發(fā)元素主要來(lái)源于粘結劑和清洗劑，為芯片廠(chǎng)供貨的過(guò)濾器廠(chǎng)商要在這上面下些功夫。

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